METHOD FOR ADJUSTING SHAPE MEASURING DEVICE

To provide a method for adjusting a shape measuring device by which adjustment of a white interference microscope can be easily executed.SOLUTION: A method for adjusting a shape measuring device is to irradiate a master for adjustment and a reference surface with rays of light from a light source as measuring light and reference light, respectively, and measure the shape of a surface to be measured of a measurement object by using multiplexed light of the measurement light and the reference light reflected on the master for adjustment and the reference surface, respectively, and the method includes steps of: measuring the master for adjustment in an adjusted state in which a focus position and an interference position match each other, and calculating and storing a matching degree parameter indicating the degree of matching between the focus position and the interference position as a matching degree parameter during adjustment; and measuring the master for adjustment in measuring the measurement object, calculating the matching degree parameter, and comparing the matching degree parameter and the matching degree parameter during adjustment with each other, thereby checking the degree of matching.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 白色干渉顕微鏡の調整を容易に実施することが可能な形状測定装置の調整方法を提供する。【解決手段】 光源からの光を測定光と参照光としてそれぞれ調整用マスターと参照面に照射し、調整用マスター及び参照面によりそれぞれ反射された測定光及び参照光の合波光を用いて測定対象物の被測定面の形状を測定する形状測定装置の調整方法であって、合焦位置と干渉位置とが合致している調整済状態において調整用マスターを測定し、合焦位置と干渉位置との合致度を示す合致度パラメータを調整時合致度パラメータとして算出して保存するステップと、測定対象物の測定を行う際に、調整用マスターを測定し、合致度パラメータを算出して、合致度パラメータと調整時合致度パラメータを比較することにより、合致度を確認するステップとを含む。【選択図】 図１