INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD

To provide an inspection device and inspection method, which allow for easily inspecting diffraction optical element sheets with high accuracy.SOLUTION: An inspection device 10 provided herein is for inspecting a diffraction optical element sheet 80 comprising multiple unit diffraction optical elements 81 arrayed on a sheet surface. The inspection device 10 comprises a holding unit 20 for holding the diffraction optical element sheet 80, a light projection unit 30 configured to project inspection light L onto the diffraction optical element sheet 80 held by the holding unit 20, an image capturing unit 50 for capturing an image of the inspection light L transmitting through the diffraction optical element sheet 80, and a control unit 60 configured to acquire the image of the diffraction optical element sheet 80 from the image capturing unit 50 and inspect each of the unit diffraction optical elements 81 based on the image. The image capturing unit 50 output brightness of each of the unit diffraction optical elements 81, and the control unit 60 corrects a brightness value of each of the unit diffraction optical elements 81 according to a diffraction angle of the inspection light L incident on the unit diffraction optical element 81.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】回折光学素子シートを簡単、かつ、高い精度で検査できる検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】検査装置１０は、シート面内に複数の単位回折光学要素８１が配列されている回折光学素子シート８０を検査する。検査装置１０は、回折光学素子シート８０を保持する保持部２０と、保持部２０に保持された回折光学素子シート８０に、検査光Ｌを投光する投光部３０と、回折光学素子シート８０を透過した検査光Ｌを撮影する撮影部５０と、撮影部５０からの回折光学素子シート８０の画像を取得し、画像に基づいて各単位回折光学要素８１を検査する制御部６０と、を備える。撮影部５０は、各単位回折光学要素８１の輝度を出力し、制御部６０は、各単位回折光学要素８１について、当該単位回折光学要素８１に入射する検査光Ｌの回折角に応じて輝度の値を補正する。【選択図】図３