COUPLED TRANSMISSION LINE RESONATE RF FILTER

To provide a coupled transmission line resonate filter creating impedance matching between RF devices on the same substrate, and a method for manufacturing the same.SOLUTION: A method for manufacturing a resonate filter includes a step 102 of forming one or more interdigitated structures with electrical conduction channels on a photosensitive glass substrate, a step 104 of exposing at least one portion of the photosensitive glass substrate to an activating energy source, a step 106 of heating the photosensitive glass substrate for at least ten minutes above its glass transition temperature, a step 108 of cooling the photosensitive glass substrate to transform at least part of the exposed glass to a crystalline material to form a glass-crystalline substrate, a step 110 of etching the glass-crystalline substrate with an etchant solution to form a mechanical support device, and a step 112 of coating one or more electrical conductive interdigitated transmission lines, a ground plane and input and output channels with one or more metals. A resonate filter thus formed is covered with a lid that includes ground plates.SELECTED DRAWING: Figure 8 【課題】同じ基板上のＲＦデバイス間のインピーダンス整合をとる接続伝送線路共振フィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】共振フィルタ製造方法は、感光性ガラス基板に電気伝導チャネルを伴う１又は２以上の交差指形構造を形成するステップ１０２と、感光性ガラス基板の少なくとも１つの部分を活性化エネルギー源に露光するステップ１０４と、感光性ガラス基板をガラス転移温度を超えて、少なくとも１０分間加熱ステップ１０６と、感光性ガラス基板を冷却して、一部を結晶材料に変換して、ガラス結晶基板を形成するステップ１０８と、ガラス結晶基板をエッチング液でエッチングして、機械的支持デバイスを形成するステップ１１０と、１又は２以上の導電性交差指形伝送線路、接地面及び入出力チャネルを１又は２以上の金属で被覆するステップ１１２とで、構成し、形成された共振フィルタを接地板を含む蓋で覆う。【選択図】図８