LASER IRRADIATION METHOD AND LASER IRRADIATION DEVICE

To irradiate an irradiation object with a laser beam with required energy density, at a position in a wide range in an optical axis direction of the laser beam.SOLUTION: A laser irradiation device includes: a photonic crystal surface emission laser (PCSEL) element 110 for emitting a laser beam LB; a laser head 24 for condensing the laser beam LB emitted from the PCSEL element 110 by a condenser lens 27 on optical transmission lines 25 and 30 in space propagation of the laser beam LB; and moving mechanisms 22, 23 and 24 for irradiating an irradiation object W with the laser beam LB condensed by the condenser lens 27, at any irradiation position within a Rayleigh length ZR range regardless of a beam west BW position in the optical axis direction of the laser beam LB, by relative movement in the optical axis direction of the laser beam LB, of the condenser lens 27 of the laser beam LB to the irradiation object W.SELECTED DRAWING: Figure 1A 【課題】レーザビームの光軸方向における広い範囲の位置において、照射対象物にレーザビームを必要なエネルギ密度で照射する。【解決手段】レーザビームＬＢを射出するフォトニック結晶面発光レーザ（ＰＣＳＥＬ）素子１１０と、ＰＣＳＥＬ素子１１０から射出されるレーザビームＬＢの、空間伝搬による光伝送路２５，３０において、レーザビームＬＢを集束レンズ２７により集束するレーザヘッド２４と、レーザビームＬＢの照射対象物Ｗに対する集束レンズ２７の、レーザビームＬＢの光軸方向に沿った相対移動により、レーザビームＬＢの光軸方向におけるビームウエストＢＷ位置に拘わらずレイリー長ＺＲ範囲内のいずれかの照射位置において、集束レンズ２７により集束されたレーザビームＬＢを照射対象物Ｗに照射させる移動機構２２，２３，２４と、を備える。【選択図】図１Ａ