STAGE DEVICE, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND VACUUM DEVICE

To suppress adherence of a guide foreign matter scattered from a contact type guide element to an object in a vacuum environment.SOLUTION: A stage device includes a guide rail 201 that is arranged in a vacuum environment to move the mounted object and is laid on a base 102, a carriage 202 that moves along the guide rail 201, a rolling element that contacts the guide rail 201 and the carriage 202 and rotates as the carriage 202 moves, a table 101 that is connected to a part of the carriage 202 and moves together with the carriage 202, and a shielding cover 502 that is provided to cover the guide surface of the guide rail 201 in the normal direction 304 and shields a foreign matter scattered from the guide rail 201, the carriage 202, or the rolling element.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】真空環境下において、接触式の案内要素から飛散したガイド異物が対象物に付着するのを抑制する。【解決手段】ステージ装置は、真空環境下に配置され、載置された対象物を移動し、ベース１０２に敷設されるガイドレール２０１と、ガイドレール２０１に沿って移動するキャリッジ２０２と、ガイドレール２０１及びキャリッジ２０２に接触し、キャリッジ２０２の移動に伴い回転する転動体と、キャリッジ２０２の一部に接続され、キャリッジ２０２と共に移動するテーブル１０１と、ガイドレール２０１の案内面の法線方向３０４を覆うように設けられ、ガイドレール２０１、キャリッジ２０２又は転動体から飛散した異物を遮蔽する遮蔽カバー５０２と、を備える。【選択図】図５