CUTTING DEVICE

To efficiently discharge cutting water scattering inside a processing chamber without impairing maintainability.SOLUTION: A cutting device includes a cutting unit for cutting a workpiece held by a chuck table, a processing chamber for storing the cutting unit, a slide cover for opening/closing the p...

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Hauptverfasser: OGATA MASASHI, SAITO MASARU
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To efficiently discharge cutting water scattering inside a processing chamber without impairing maintainability.SOLUTION: A cutting device includes a cutting unit for cutting a workpiece held by a chuck table, a processing chamber for storing the cutting unit, a slide cover for opening/closing the processing chamber by sliding, and a duct mechanism having a movable body fixed to the slide cover, wherein the cutting unit has a ring-like cutting blade mounted at the tip of the spindle, and a cutting water supply nozzle for supplying cutting water to the cutting blade; the duct mechanism has a suction port provided on the movable body and provided in a region where the cutting water scatters involved in rotation of the cutting blade when the cutting water is supplied to the cutting blade from the cutting water supply nozzle while rotating the cutting blade, and constitutes an exhaust route whose one end reaches an exhaust unit and the other end reaches the suction port; and the cutting water is sucked from the suction port by a negative pressure generated in the suction source and the cutting water is discharged from the processing chamber.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】メンテナンス性を損なうことなく加工室の内部に飛散する切削水を効率的に排出する。【解決手段】チャックテーブルで保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ユニットが収容され加工室と、スライドして該加工室を開閉するスライドカバーと、該スライドカバーに固定された移動体を備えるダクト機構と、を備え、該切削ユニットは、スピンドルの先端に装着された円環状の切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、を有し、該ダクト機構は、該切削ブレードを回転させつつ該切削水供給ノズルから該切削ブレードに該切削水を供給したとき該切削ブレードの回転に伴い該切削水が飛散する領域に設けられた吸引口を該移動体に備え、一端が排気ユニットに達し他端が該吸引口に達する排気経路を構成し、該吸引源で生じた負圧により該吸引口から該切削水を吸引して該切削水を該加工室から排出する。【選択図】図3