METHODS AND SYSTEM FOR INTEGRATED SYNTHESIS, DELIVERY, AND PROCESSING OF SOURCE CHEMICALS FOR THIN FILM MANUFACTURING

To provide an integrated system for synthesis of a film-forming precursor, consumption of the precursor and formation of a thin film on a substrate.SOLUTION: The integrated system includes a raw material source, a precursor synthesis chamber in communication with the raw material source, a thin film processing chamber in communication with the precursor synthesis chamber for supplying the precursor from the precursor synthesis chamber to the thin film processing chamber in a controlled manner for consumption of the precursor to form the thin film on the substrate, a monitoring system for monitoring of the thin film formation in the thin film processing chamber and/or the precursor synthesis in the precursor synthesis chamber, and a controller for controlling a rate of the precursor synthesis, precursor consumption and/or thin film formation. The rate of precursor synthesis is synchronized with the rate of precursor consumption for formation of the thin film.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】膜形成前駆体の合成、前駆体の消費及び基板への薄膜の形成のための統合システムを提供する。【解決手段】統合システムは、原材料供給源と、原材料供給源と連通した前駆体合成チャンバーと、前駆体を消費して基板に薄膜を形成するために制御された状態で、前駆体を前駆体合成チャンバーから薄膜加工チャンバーに供給するための、前駆体合成チャンバーと連通した薄膜加工チャンバーと、薄膜加工チャンバーにおける薄膜形成及び／又は前駆体合成チャンバーにおける前駆体合成をモニタリングするためのモニタリングシステムと、前駆体合成、前駆体消費及び／又は薄膜形成の速度を制御するためのコントローラーとを備える。前駆体合成速度は、薄膜形成のための前駆体消費速度と同期している。【選択図】図１