PRESSURE SENSOR

To easily change at least one of a plurality of measurement ranges.SOLUTION: A pressure sensor 10 includes: a first diaphragm 21 to be deformed by receiving a first pressure P1 of a measured fluid; a second diaphragm 22 to be deformed by receiving a second pressure P2 of the measured fluid; and a plurality of differential pressure sensor chips 61-63 respectively constituted to detect a differential pressure between the first pressure P1 and the second pressure P2 and having a different measurement range. The pressure sensor 10 also includes a pressure transmission member 30 including: a first transmission channel 30A sealed with a first pressure transmission fluid F1 for transmitting the first pressure P1 to each one of the differential pressure sensor chips 61-63; and a second transmission channel 30B sealed with a second pressure transmission fluid F2 for transmitting the second pressure P2 to the respective differential pressure sensor chips 61-63.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】複数の測定レンジのうちの少なくとも１つを容易に変更できるようにする。【解決手段】圧力センサ１０は、被測定流体の第１圧力Ｐ１を受圧することにより変形する第１ダイアフラム２１と、被測定流体の第２圧力Ｐ２を受圧することにより変形する第２ダイアフラム２２と、それぞれが第１圧力Ｐ１と第２圧力Ｐ２との差圧を検出するように構成され、かつ、測定レンジの異なる複数の差圧センサチップ６１～６３と、を備える。圧力センサ１０は、さらに、第１圧力Ｐ１を複数の差圧センサチップ６１～６３のそれぞれに伝達する第１圧力伝達流体Ｆ１が封入された第１伝達路３０Ａと、第２圧力Ｐ２を複数の差圧センサチップ６１～６３に伝達する第２圧力伝達流体Ｆ２が封入された第２伝達路３０Ｂと、を備える圧力伝達部材３０と、を備える。【選択図】図１