METHOD FOR MANUFACTURING RADIATION DETECTION DEVICE

To provide a manufacturing method that, in a peeling process of peeling a flexible matrix panel from a base, prevents cracks generated in the matrix panel and reduces the time required for the peeling process.SOLUTION: A manufacturing method is to peel, from a base, a radiation detection device having a sensor substrate having a plurality of pixels for generating electric charges based on radiation on a first surface of a base material having flexibility formed on the base. In peeling the sensor substrate from the base by radiating a laser through the base, an area on the rear face of a radiation surface installed with a scintillator and an area other than the area are radiated differently in terms of at least one of output of the laser and the area of overlapping radiation areas.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】 本発明は、可撓性マトリクスパネルを基台から剥離する剥離工程において、マトリクスパネルに発生するクラックを抑え、かつ、剥離工程にかかる時間を短くすることを特徴とする製造方法を提供する。【解決手段】 基台上に形成された可撓性を有する基材の第１面に放射線に基づく電荷を生成する複数の画素を有するセンサ基板を有する放射線検出装置を基台から剥離する製造方法である。レーザーを基台を透過して照射することにより基台とセンサ基板とを剥離する際に、照射面の裏面にシンチレータが設けられている領域とそれ以外の領域とで、レーザーの出力および照射領域同士がオーバーラップする面積の少なくともいずれかが異なる照射を行う。【選択図】 図３