FLUID-COOLED REFLECTIVE X-RAY SOURCE

To provide a water-cooled reflective x-ray source providing water or other fluid cooling of the centering aperture, x-ray target, and/or exit window so as to solve the problem in which: during operation of a reflection target x-ray source, heat must be removed from many components; an electron beam must be steered to the target and may interact with structures along this path; there is also heat generated in the target itself; this can be excessive since only a very small percentage of the electron beam's energy is transformed into x-rays; and finally the x-rays must exit the vacuum through a window, which can also be heated both by the x-rays, reflected electrons, and radiant heat from the target.SOLUTION: An x-ray source comprises: a target; an electron beam source for generating an electron beam for striking the target to generate x-rays; and a fluid-cooled aperture tube including a centering aperture between the electron beam source and the target.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】反射ターゲット型Ｘ線源の動作中、多くの部品から熱を除去しなければならない。電子ビームは、ターゲットに向けて操縦されなければならず、この経路に沿って構造と相互作用し得る。また、ターゲット自体にも熱が発生する。電子ビームのエネルギーのごくわずかな割合のみがＸ線に変換されるため、これは過剰であり得る。最後に、Ｘ線は窓を通って真空から出なければならず、窓は、Ｘ線、反射電子、およびターゲットからの放射熱のいずれによっても加熱され得る。水冷反射型Ｘ線源は、センタリング開口部、Ｘ線ターゲット、および／または出口窓の水または他の流体の冷却を提供する。【解決手段】ターゲットと、前記ターゲットに衝突してＸ線を発生させるための電子ビームを発生させるための電子ビーム源と、前記電子ビーム源と前記ターゲットとの間にセンタリング開口部を含む流体冷却開口管とを備える、Ｘ線源。【選択図】図２