LASER PEELING DEVICE, INFORMATION PROCESSING METHOD, AND PROGRAM

To provide a laser peeling device capable of efficiently deriving information on a state of a peeling layer irradiated with a laser beam.SOLUTION: A laser peeling device for irradiating workpiece having a substrate and a peeling layer formed on the substrate with a laser beam, and peeling the peeling layer from the substrate includes an imaging device for imaging the workpiece irradiated with the laser beam, and a processing part for performing processing on the basis of an image imaged by the imaging device, wherein the processing part acquires an image of the workpiece imaged by the imaging device, inputs the acquired image of the workpiece to a learning model for outputting information on the state of the peeling layer of the workpiece when the image of the workpiece is input thereto, thereby derives information on the state of the peeling layer, and outputs the derived information on the state of the peeling layer.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】レーザ光が照射される剥離層の状態に関する情報を効率的に導出することができるレーザ剥離装置等を提供する。【解決手段】レーザ剥離装置は、基板と該基板上に形成された剥離層とを備えるワークにレーザ光を照射して前記剥離層を前記基板から剥離するレーザ剥離装置であって、前記レーザ光が照射されるワークを撮像する撮像装置と、前記撮像装置が撮像した画像に基づく処理を行う処理部とを備え、前記処理部は、前記撮像装置が撮像したワークの画像を取得し、ワークの画像を入力した場合に該ワークの剥離層の状態に関する情報を出力する学習モデルに、取得した前記ワークの画像を入力することによって、前記剥離層の状態に関する情報を導出し、導出した前記剥離層の状態に関する情報を出力する。【選択図】図１