INSPECTION DEVICE

To provide an inspection device which can calculate a deviation amount from a prescribed reference surface of an inspection object surface of an inspection object without having a configuration of detecting a position of the inspection object.SOLUTION: An inspection device 1 comprises: a radiation g...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KITAHATA ATSUSHI, NAGOSHI (MURATA) HIROYUKI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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