BEAM TRANSPORTATION SYSTEM

To provide a beam transportation system that can restrain a beam current from falling..SOLUTION: A beam transportation system 1 comprises a suppression unit 7 that suppresses gas generated from a degassing source 6 from flowing toward a beam orbit 3 side, and guides the gas toward a suction means 4 side. The gas generated in the degassing source 6 is suppressed from flowing toward the beam orbit 3 side by the suppression unit 7. These suppressed gas are guided toward the suction means 4 side. Therefor, the gas is suppressed from flowing to a beam orbit 3, sucked by the suction means 4, and discharged from a vacuum space SP. Thereby, a collision of the gas with a beam B is suppressed. Accordingly, a fall of a beam current can be suppressed.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ビーム電流の低下を抑制することができるビーム輸送システムを提供する。【解決手段】ビーム輸送システム１は、脱ガス源６から発生するガスがビーム軌道３側へ向かうことを阻害すると共に、吸引手段４側へ導く阻害部７を備える。脱ガス源６で発生したガスは、阻害部７によって、ビーム軌道３側へ向かうことを阻害される。これらの阻害されたガスは、吸引手段４側へ導かれる。そのため、ガスは、ビーム軌道３へ流れることを抑制されて、吸引手段４によって吸引されて真空空間ＳＰから排出される。これによって、ガスとビームＢとの衝突が抑制される。以上により、ビーム電流の低下を抑制することができる。【選択図】図１