INDUCTION COUPLING TYPE PLASMA SOURCE

To provide an induction coupling type plasma source that can more accurately detect that plasma changes from CCP to ICP.SOLUTION: An induction coupling type plasma source comprises: a discharge unit that has a discharge tube for generating plasma therein and an antenna; a DC power supply circuit that outputs DC voltage; an inverter circuit that converts the DC voltage output from the DC power supply circuit into AC voltage; a resonance circuit that is arranged between the inverter circuit and the discharge unit; a sensor that detects a voltage value of a voltage corresponding to a voltage applied to the antenna and a current value of a current corresponding to a current flowing in the antenna; a control unit that controls an output voltage value of the DC power supply circuit or the inverter circuit to change the voltage value; and a determination unit that determines the state of plasma inside the discharge tube. After the generation of the plasma, the determination unit determines whether the plasma changes to inductive coupling plasma based on the stability of the ratio of the voltage value to the current value.SELECTED DRAWING: Figure 6 【課題】プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことをより正確に検出することができる誘導結合型プラズマ源を提供する。【解決手段】誘導結合型プラズマ源は、内部にプラズマを発生させるための放電管とアンテナとを有する放電部と、直流電圧を出力する直流電源回路と、前記直流電源回路から出力された直流電圧を交流電圧に変換するインバータ回路と、前記インバータ回路と前記放電部との間に配置された共振回路と、前記アンテナに印加される電圧と前記アンテナに流れる電流とに対応する電圧の電圧値と電流の電流値とを検出するセンサと、前記電圧値を変化させるように、前記直流電源回路又は前記インバータ回路の出力電圧値を制御する制御部と、前記放電管内部のプラズマの状態を判定する判定部と、を備える。前記判定部は、前記プラズマが発生した後に、前記電圧値の前記電流値に対する比の安定度に基づいて、前記プラズマが誘導結合プラズマに変化したか否かを判定する、誘導結合型プラズマ源。【選択図】図６