SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
To provide a semiconductor storage device in which fluctuations in characteristics of peripheral circuit elements are suppressed.SOLUTION: A semiconductor storage device according to an embodiment includes a plurality of first conductive layers 43 arranged in the first direction at intervals, a firs...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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Zusammenfassung: | To provide a semiconductor storage device in which fluctuations in characteristics of peripheral circuit elements are suppressed.SOLUTION: A semiconductor storage device according to an embodiment includes a plurality of first conductive layers 43 arranged in the first direction at intervals, a first plug C4 penetrating through the plurality of first conductive layers, a second conductive layer IC2a connected to the lower end of the first plug under the plurality of first conductive layers, a first transistor Tr below the plurality of first conductive layers, a second transistor AE in a second region DP between the first region below the second conductive layer and the first transistor, having the gate electrically connected to the first transistor and the drain electrically connected to the first transistor, and a third transistor AE in the second region, having the source and the drain electrically connected to each other.SELECTED DRAWING: Figure 6
【課題】周辺回路素子の特性変動が抑えられた半導体記憶装置を提供する。【解決手段】実施形態の半導体記憶装置は、間隔を有して第1方向に並ぶ複数の第1導電層43と、前記複数の第1導電層を貫く第1プラグC4と、前記複数の第1導電層の下方で、前記第1プラグの下端に接続される第2導電層IC2aと、前記複数の第1導電層の下方の第1トランジスタTrと、前記第2導電層の下方の第1領域と前記第1トランジスタとの間の第2領域DP中の第2トランジスタAEであって、前記第1トランジスタに電気的に接続されるゲートおよび前記第1トランジスタに電気的に接続されるドレインを有する前記第2トランジスタと、前記第2領域中の第3トランジスタAEであって、互いに電気的に接続されるソースおよびドレインを有する前記第3トランジスタとを含む。【選択図】図6 |
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