PROTECTIVE FILM FORMATION DEVICE
To provide a protective film formation device which can form a protective film having a flat surface without exerting a load on an element.SOLUTION: A protective film formation device includes: a resin supply part for supplying a liquid curable resin R to a surface where an element of a substrate is...
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!