PHOTODETECTOR, PHOTODETECTION SYSTEM, LIDAR DEVICE, AND MOBILE BODY

To provide a photodetector, a photodetection system, a LIDAR device, and a mobile body that are capable of improving photodetection efficiency.SOLUTION: A photodetector comprises a first semiconductor layer of a first conduction type, an element region, a first insulation unit, a quench unit, and a...

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Hauptverfasser: SASAKI KEITA, SUZUKI KAZUHIRO, SHIMIZU MARIKO, SHIMADA MIYOKO, KWON HONAM
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide a photodetector, a photodetection system, a LIDAR device, and a mobile body that are capable of improving photodetection efficiency.SOLUTION: A photodetector comprises a first semiconductor layer of a first conduction type, an element region, a first insulation unit, a quench unit, and a first lens. The element region includes a first semiconductor region of the first conduction type, a second semiconductor region of the first conduction type, and a third semiconductor region of a second conduction type. The third semiconductor region forms a pn junction surface together with the second semiconductor region. A plurality of element regions are provided in a first direction in parallel with pn junction surfaces. The first insulation unit has tilted surfaces tilted with respect to a second direction perpendicular to the pn junction surfaces and is positioned between third semiconductor regions adjacent to each other in the first direction. The quench unit is electrically connected to a third semiconductor region. The first lens is provided above the plurality of element regions and the first insulation unit. The center in the first direction of the first lens is positioned directly over the first insulation unit.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】本発明の実施形態は、光検出効率を向上可能な、光検出器、光検出システム、ライダー装置、及び移動体を提供する。【解決手段】実施形態に係る光検出器は、第1導電形の第1半導体層と、素子領域と、第1絶縁部と、クエンチ部と、第1レンズと、を備える。素子領域は、第1導電形の第1半導体領域と、第1導電形の第2半導体領域と、第2導電形の第3半導体領域と、を含む。第3半導体領域は、第2半導体領域とpn接合面を形成する。素子領域は、pn接合面に平行な第1方向において複数設けられる。第1絶縁部は、pn接合面に垂直な第2方向に対して傾斜した傾斜面を有し、第1方向で隣り合う第3半導体領域同士の間に位置する。クエンチ部は、第3半導体領域と電気的に接続される。第1レンズは、複数の素子領域及び第1絶縁部よりも上方に設けられる。第1レンズの第1方向における中心は、第1絶縁部の直上に位置する。【選択図】図1