BREAK-IN PROCESSING DEVICE AND BREAK-IN PROCESSING METHOD

To provide a break-in processing device that can surely perform break-in processing of an elastic film, without lowering an operation rate of a polishing device.SOLUTION: A break-in processing device 50 comprises: a stage 54 on which an elastic film assembly 7 which includes at least a carrier 8 and an elastic film 10 that is mounted on the carrier 8 is placed; a break-in determining module 57 arranged opposing to an outermost peripheral part of the elastic film 10 of the elastic film assembly 7 placed on the stage 54; a fluid supply device 60 that supplies pressurized fluid having predetermined pressure to a pressure chamber 14a formed between the outermost peripheral part of the elastic film 10 and the carrier 8; and a control device 52 that controls operation of the break-in determining module 57 and the fluid supply device 60. The control device 52 determines that break-in processing of the elastic film 10 is completed, on the basis of a load applied to the break-in determining module 57 by the elastic film 10 swollen by the pressurized fluid supplied to the pressure chamber 14a.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】研磨装置の稼働率を低下させることなく、弾性膜のブレークイン処理を確実に行うことができるブレークイン処理装置を提供する。【解決手段】ブレークイン処理装置５０は、キャリア８と該キャリア８に取り付けられる弾性膜１０を少なくとも含む弾性膜アッセンブリ７が載置されるステージ５４と、ステージ５４に載置された弾性膜アッセンブリ７の弾性膜１０の最外周部に対向するブレークイン判定モジュール５７と、弾性膜１０の最外周部とキャリア８との間に形成された圧力室１４ａに、所定の圧力を有する加圧流体を供給する流体供給装置６０と、ブレークイン判定モジュール５７と流体供給装置６０の動作を制御する制御装置５２と、を備える。制御装置５２は、圧力室１４ａに供給された加圧流体によって膨らんだ弾性膜１０によってブレークイン判定モジュール５７に加えられる荷重に基づいて、弾性膜１０のブレークイン処理の完了を判断する。【選択図】図４