COMPOUND FORK DEVICE, INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING SYSTEM INCLUDING THE SAME, AND CONVEYING METHOD USING THE SAME

To provide a composite fork device, an integrated circuit manufacturing system including a composite fork device, and a transfer method using a composite fork device, which do not need to change an interface when holding or transporting different types of containers in order to improve efficiency of an IC manufacturing process.SOLUTION: A composite fork device 10 includes a first prong 11 and a second prong 12 spaced from the first prong 11. Each of the first prong and the second prong includes an upper surface 13 and a lower surface 14 recessed relative to the upper surface 13. The upper surfaces 13 of the first and second prongs cooperatively hold a container of a first type. Lower surfaces 14 of the first and second prongs cooperatively hold a container of a second type having a different configuration from the container of the first type.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】ＩＣ製造工程の効率を向上させるため、異なるタイプのコンテナを保持又は搬送するときにそのインターフェイスを変更する必要のない複合フォーク装置、複合フォーク装置を含む集積回路製造システム及び複合フォーク装置を用いた搬送方法を提供する。【解決手段】複合フォーク装置１０は、第１プロング１１と、第１プロング１１から間隔が空けられた第２プロング１２と、を含む。第１プロング及び第２プロングの各々は、上方表面１３と、上方表面１３に対して窪んでいる下方表面１４とを含む。第１及び第２プロングの上方表面１３は、第１タイプのコンテナを協同して保持する。第１ロング及び第２プロングの下方表面１４は、第１タイプのコンテナとは異なる構成を有する第２タイプのコンテナを協同して保持する。【選択図】図４