SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE AND SUBSTRATE TRANSPORT METHOD

To provide a substrate transport device capable of suppressing positional displacement of a substrate by more surely holding the substrate, and a substrate transport method.SOLUTION: A substrate transport device comprises a substrate holding part configured to hold a substrate. The substrate holding part includes: first and second suction holes provided so as to be opened on a mounting surface; first and second projections respectively disposed inside of the first and second suction holes; and first and second support portions respectively provided in the vicinity of the first and second suction holes so as to protrude upward from the mounting surface. The first projection is configured to close the first suction hole in a state where the substrate is not held, while protruding upward from the first suction hole by being energized upward by a first elastic member. The second projection is configured to close the second suction hole in a state where the substrate is not held, while protruding upward from the second suction hole by being energized upward by a second elastic member.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】本開示は、基板をより確実に保持して基板の位置ずれを抑制することが可能な基板搬送装置及び基板搬送方法を説明する。【解決手段】基板搬送装置は、基板を保持するように構成された基板保持部を備える。基板保持部は、載置面に開口するように設けられた第１及び第２の吸引孔と、第１及び第２の吸引孔内にそれぞれ配置された第１及び第２の突起部と、載置面から上方に突出するように第１及び第２の吸引孔の近傍にそれぞれ設けられた第１及び第２の支持部を含む。第１の突起部は、第１の弾性部材によって上方に付勢されることにより、第１の吸引孔から上方に突出しつつ、基板が保持されていない状態で第１の吸引孔を塞ぐように構成されている。第２の突起部は、第２の弾性部材によって上方に付勢されることにより、第２の吸引孔から上方に突出しつつ、基板が保持されていない状態で第２の吸引孔を塞ぐように構成されている。【選択図】図５