ADHESIVE TAPE FOR ELECTRONIC COMPONENT

To provide an adhesive tape for electronic components capable of enough tracking and adhering to even a thick and hard wafer with a rough surface and well dicing the wafer into chips by expanding the adhesive tape for electronic components.SOLUTION: An adhesive tape 1 for electronic components has a...

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Hauptverfasser: OKAMOTO MASANAO, MATSUBARA YUKIHIRO
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide an adhesive tape for electronic components capable of enough tracking and adhering to even a thick and hard wafer with a rough surface and well dicing the wafer into chips by expanding the adhesive tape for electronic components.SOLUTION: An adhesive tape 1 for electronic components has an adhesive layer 3 formed on at least one surface of a substrate film 2. The adhesive tape 1 has a stress monotonously increased to a fracture point and a stress of 11.0 MPa or more in 20% expansion when expanded in the MD direction. The adhesive tape 1 has a stress of 9.0 MPa or more in 20% expansion when expanded in the TD direction. The adhesive layer 3 has a thickness of 30-70 μm.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】表面に段差を有する厚くて硬いウエハであっても、電子部品用粘着テープを十分に追従させて貼合することができ、電子部品用粘着テープをエキスパンドさせることにより、ウエハをチップ状に良好に分断することができる電子部品用粘着テープを提供する。【解決手段】基材フィルム2の少なくとも片面に粘着剤層3が形成された電子部品用粘着テープ1であって、MD方向に伸長したときに、応力が破断点まで単調増加し、20%伸長時の応力が11.0MPa以上であり、TD方向に伸長したときに、20%伸長時の応力が9.0Mpa以上であり、粘着剤層3の厚みが、30~70μmであることを特徴とする。【選択図】図1