TARGET RECOVERY DEVICE

To safely recover a target from a target holding jig.SOLUTION: A target recovery device takes out a target contained in a target holding jig from the target holding jig that can contain the target therein with one face of the target exposed, and the device comprises: an introduction part that has an opening through which the target holding jig can be introduced; a receiving part that holds the target holding jig introduced from the introduction part at a predetermined position, and has an opening on a side of the target holding jig held at the predetermined position where the target is exposed; target recovery means that can access the opening of the receiving part from the outside, has a suction part that sucks in and holds the target from the side of the target holding jig arranged in the receiving part where the target is exposed, and can take out the target held by the suction part from the target holding jig; and a guide part that guides the suction part of the target recovery means from the side of the target holding jig held by the receiving part where the target is exposed to the target inside the target holding jig.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ターゲット保持具からターゲットを安全に回収すること。【解決手段】ターゲットを一方の面が露出した状態で内部に収納可能なターゲット保持具から、収納されているターゲットを取り出すターゲット回収装置は、ターゲット保持具を投入可能な開口を有する投入部と、投入部から投入されたターゲット保持具を所定位置に保持し、所定位置に保持されたターゲット保持具内のターゲットが露出している側に開口部を有する受容部と、受容部の開口部に外部からアクセス可能に構成され、受容部に配置されたターゲット保持具のターゲットの露出側からターゲットを吸着して保持する吸引部を有し、吸引部で保持されたターゲットをターゲット保持具から取り出し可能に構成したターゲット回収手段と、受容部に保持されたターゲット保持具のターゲットの露出側から内部のターゲットにターゲット回収手段の吸引部を案内するよう構成された案内部と、を備える。【選択図】図１