LASER PROCESSING METHOD AND LASER PROCESSING DEVICE

To provide a laser processing device configured so that a timing of a photographing instruction can be corrected.SOLUTION: A laser processing method comprises: a registering step of registering a reference image which includes a key pattern formed on a surface side of a work-piece and one scheduled division line of a plurality of scheduled division lines, and a photographing position of the work-piece corresponding to a photographing field of view at the time of obtaining the reference image; a photographing step of moving a chuck table and a laser beam irradiation unit relatively along a first direction at a predetermined movement speed, while irradiating the surface side of the work-piece with a laser beam, and obtaining an image being processed of the surface of the work-piece by instructing a photographing unit to photograph an image in order to obtain the image at a timing at which the photographing field of view reaches a predetermined photographing position; and a correcting step of correcting a timing of the photographing instruction based on deviations in the first direction between the image being processed and the reference image.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】レーザー加工装置において撮像指示のタイミングを補正する。【解決手段】被加工物の表面側に設けられているキーパターンと複数の分割予定ラインのうち一の分割予定ラインとを含む基準画像と、基準画像を取得するときの撮像視野に対応する被加工物の撮像位置と、を登録する登録ステップと、レーザービームを被加工物の表面側に照射した状態で、チャックテーブル及びレーザービーム照射ユニットを相対的に第１方向に沿って所定の移動速度で移動させると共に、所定の撮像位置に撮像視野が到達するタイミングで画像を取得することを目的として撮像ユニットに撮像指示を出して、被加工物の表面の加工中画像を取得する撮像ステップと、加工中画像と基準画像との第１方向でのずれ量に基づいて、撮像指示のタイミングを補正する補正ステップと、を備えるレーザー加工方法を提供する。【選択図】図４