X-RAY EXAMINATION DEVICE

SOLUTION: A device has: a radiation generating system that generates primary radiation; a first goniometer arm on which the radiation generating system is mounted, and which is turnable around a goniometer axis; a detection system that detects secondary radiation to be emanated from a sample; a second goniometer arm on which the detection system is mounted, and which is turnable around the goniometer axis; and an exhaustable sample chamber. Within the sample chamber, the sample can be arranged in a sample region including a part of the goniometer axis. For enabling the primary radiation to be incident upon the sample chamber and hit the sample region at various angles, the sample chamber is defined by a sample chamber wall that has an irradiation region transmitting the primary radiation, and being vacuum-tight. The sample chamber has a first opening on a detection beam route, and the sample chamber and the detection system can be connected in a vacuum-tight manner in the opening, so that the detection beam route is exhaustable.SELECTED DRAWING: Figure 2C 【解決手段】一次放射線を発生させる放射線発生システムと、放射線発生システムが組み付けられる、及びゴニオメータ軸を中心に旋回可能である第１のゴニオメータアームと、サンプルから発せられる二次放射線を検出する検出システムと、検出システムが組み付けられる、及びゴニオメータ軸を中心に旋回可能である第２のゴニオメータアームと、排気可能なサンプルチャンバと、を有し、サンプルチャンバ内で、ゴニオメータ軸の一部を含むサンプル領域にサンプルを配置可能であり、一次放射線がサンプルチャンバに入射でき、かつ様々な入射角でサンプル領域に当たることを可能にするために、一次放射線を透過する、及び真空気密である照射領域を有するサンプルチャンバ壁によってサンプルチャンバが画定され、サンプルチャンバは、検出ビーム経路に第１の開口を有し、開口でサンプルチャンバと検出システムを真空気密に接続でき、検出ビーム経路を排気可能である。【選択図】図２Ｃ