CALIBRATION JIG, CALIBRATION METHOD, AND MEASURING METHOD

To provide a calibration jig capable of precisely performing orientation calibration of optical interferometers.SOLUTION: The calibration jig is used for the calibration of an optical interferometer that irradiates measurement light toward an object to be measured on the circumference of a roller. T...

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Hauptverfasser: KABETANI YASUHIRO, NAKAJIMA SHINYA
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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