REFLECTION TYPE ENCODER SCALE AND ENCODER SCALE UNIT

To obtain a reflection type encoder scale that is easy to manufacture and shows highly accurate pattern width accuracy.SOLUTION: A reflection type encoder scale has a low reflection unit formed by plating processing using a mask 70 having: a resist pattern unit 72 including a plurality of linear units 71 arranged in parallel or concentrically; a first anchor pattern unit 74 connected to one end portion 73 of each of the plurality of linear units 71 included in the resist pattern unit 72 and having a wider width than the resist pattern unit 72 or a larger area than the resist pattern unit 72; and a second anchor pattern unit 76 connected to the other end portion 75 of each of the plurality of linear units 71 included in the resist pattern unit 72 and having a wider width than the resist pattern unit 72 or a larger area than the resist pattern unit 72.SELECTED DRAWING: Figure 9 【課題】製造が容易で且つ高精度なパターン幅精度を示す反射型エンコーダスケールを得ること。【解決手段】反射型エンコーダスケールは、平行又は同心円状に配列された複数の線状部７１を含むレジストパターン部７２、レジストパターン部７２に含まれている複数の線状部７１の各々の一方の端部７３に接続されていてレジストパターン部７２の幅より広い又はレジストパターン部７２より面積が大きい第１アンカーパターン部７４、及びレジストパターン部７２に含まれている複数の線状部７１の各々の他方の端部７５に接続されていてレジストパターン部７２の幅より広い又はレジストパターン部７２より面積が大きい第２アンカーパターン部７６を有するマスク７０を用いてめっき処理で形成された低反射部を有する。【選択図】図９