INSPECTION DEVICE

To provide an inspection device for improving accuracy in inspecting presence/absence of a foreign matter in a correction plate by considering intensity to be changed depending on a configuration of an original plate in a flare to be generated by the original plate.SOLUTION: An inspection device includes: an illumination section for emitting illumination light to illuminate an inspection area on a subject surface of a second object separately arranged from a first object; a light reception section for receiving the light from the inspection area; and a control section for determining presence/absence of a foreign matter on the subject surface based on table data which preserves sensitivity coefficients to determine the size of the foreign matter from the intensity of the light received by the light reception section in the combination of the first object with the second object.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】原版によって生成されるフレアの、原版の構成に応じて変化する強度を考慮することで、補正板における異物の有無の検査精度を向上させることができる検査装置を提供する。【解決手段】本発明に係る検査装置は、第１物体から離間して配置された第２物体の被検面における検査領域を照明するための照明光を射出する照明部と、検査領域からの光を受光する受光部と、第１物体と第２物体との組み合わせにおいて、受光部によって受光された光の強度から異物のサイズを決定するための感度係数が保存されているテーブルデータに基づいて、被検面における異物の有無を判断する制御部とを備えることを特徴とする。【選択図】 図２