WAFER CARRIER AND PROCESS CONTROL SYSTEM USING THE SAME

To provide a wafer carrier that collects, stores, and accumulates processing result condition data received by a wafer (attached to the wafer carrier), and can transmit the above data to an external management device as necessary.SOLUTION: A wafer carrier includes an electrostatic chuck portion and a storage chamber joined to the back surface thereof. A driving unit for driving an electrostatic chuck is provided in the storage chamber, a physical sensor is provided in the electrostatic chuck portion and/or the storage chamber, and in addition, a communication/information storage unit is installed in the storage chamber. After mounting a wafer to be processed on the wafer carrier, the wafer is subjected to various types of processing. At this time, since the physical sensor collects processing result condition data during processing, the data is stored and accumulated in the information accumulation unit as log data. In addition, the log data can be transmitted from the communication/information storage unit to an external management device as necessary.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】ウェハ（ウェハキャリアに装着）が受けた加工処理実績条件データを、ウェハキャリア自身が収集、記憶・蓄積し、必要に応じて外部の管理装置に上記のデータを送信することが可能なウェハキャリアを提供する。【解決手段】ウェハキャリアは、静電チャック部と、この裏面に接合する収納室とを備えており、収納室内には静電チャックを駆動させるための駆動部を設け、さらに、静電チャック部、及び／又は、収納室内に物理センサを設け、また、収納室内に、通信・情報蓄積部を設ける。加工すべきウェハを上記のウェハキャリアに装着した後、上記のウェハは各種の加工処理が施される。このとき、物理センサは加工処理時の処理実績条件データを収集するので、これをログデータとして情報蓄積部に記憶・蓄積する。また、必要に応じて、通信／情報蓄積部から外部の管理装置に上記のログデータを送信することができる。【選択図】図５