WIRE GRID POLARIZER WIRE SIDEWALL PROTECTION

To provide a wire grid polarizer resistant to corrosion and/or oxidation in water.SOLUTION: A wire grid polarizer can have a protective layer PL on a sidewall SW of each wire 12. The protective layer PL can protect the sidewall SW from corrosion and/or oxidation. The protective layer PL can be absent or thinner at a distal end DE of the wire 12, farther from the substrate. Polarizer performance degradation due to the protective layer PL can be minimized or eliminated by removing the protective layer PL from the distal end DE. The invention is particularly applicable to a wire grid polarizer with multiple layers UL and LL, and the upper layer UL at the distal end DE is more resistant to corrosion and oxidation than the embedded lower layer LL.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ワイヤグリッド偏光子の水中での腐食、酸化、又はその両方に対する耐性が高いことが有益であり得る。【解決手段】各ワイヤ１２の側壁ＳＷ上に保護層ＰＬを有することができる。保護層ＰＬは、側壁ＳＷを腐食、酸化、又はその両方から保護することができる。保護層ＰＬは、基板からより遠い、ワイヤ１２の遠位端ＤＥには存在しないか、又はより薄くすることができる。保護層ＰＬに由来する偏光子性能低下は、遠位端ＤＥから保護層ＰＬを除去することによって最小化又は排除することができる。本発明は、複数の層ＵＬ及びＬＬを有するワイヤグリッド偏光子に特に適用可能であり、遠位端ＤＥの上層ＵＬは、埋め込まれた下層ＬＬよりも腐食及び酸化に対して耐性が高い。【選択図】図１