MAGNETIC SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC SENSOR

To increase output of a magnetic sensor.SOLUTION: A magnetic sensor 1 includes a ceramic substrate 2, a GMR layer 5, and an underlying layer 4. The ceramic substrate 2 includes a substrate body 20 and a grace layer 3. The substrate body 20 includes ceramic as a material. The grace layer 3 is formed...

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Hauptverfasser: PRABHANJAN DILIP KULKARNI, NAKATANI TOMOYA, ONAKA KAZUHIRO, OBARA NAOKI
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To increase output of a magnetic sensor.SOLUTION: A magnetic sensor 1 includes a ceramic substrate 2, a GMR layer 5, and an underlying layer 4. The ceramic substrate 2 includes a substrate body 20 and a grace layer 3. The substrate body 20 includes ceramic as a material. The grace layer 3 is formed in a surface of the substrate body 20. The GMR layer 5 has a laminate structure of a plurality of magnetic layers 6 and a plurality of non-magnetic layers 7. The underlying layer 4 is formed between the grace layer 3 and the GMR layer 5. The underlying layer 4 includes a BCC solid solution.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】本開示は、磁気センサの高出力化を図ることを目的とする。【解決手段】磁気センサ1は、セラミック基板2と、GMR層5と、下地層4と、を備える。セラミック基板2は、基板本体20と、グレーズ層3と、を有する。基板本体20は、材料としてセラミックを含む。グレーズ層3は、基板本体20の表面に形成されている。GMR層5は、複数の磁性層6と複数の非磁性層7との積層構造を有する。下地層4は、グレーズ層3とGMR層5との間に形成されている。下地層4は、BCC固溶体を含む。【選択図】図1