MEASUREMENT METHOD, MEASUREMENT DEVICE, MEASUREMENT SYSTEM, AND MEASUREMENT PROGRAM

To provide a measurement method that can generate measurement data with reduced drift noise without the need to prepare in advance information for reducing the drift noise.SOLUTION: A measurement method includes: a low-pass filter processing step of performing low-pass filter processing on object data to generate vibration component reduced data; a high-pass filter processing step of performing high-pass filter processing on the vibration component reduced data to generate drift noise reduced data; a correction data estimation step of estimating, on the basis of, the drift noise reduced data, correction data corresponding to a difference between data obtained by excluding drift noise from the vibration component reduced data and the drift noise reduced data; a vibration component data generation step of subtracting the vibration component reduced data from the object data to generate vibration component data; and a measurement data generation step of adding up the drift noise reduced data, the correction data, and the vibration component data to generate measurement data.SELECTED DRAWING: Figure 31 【課題】ドリフトノイズを低減させるための情報をあらかじめ用意しなくともドリフトノイズを低減させた計測データを生成可能な計測方法を提供すること。【解決手段】対象データをローパスフィルター処理して振動成分低減データを生成するローパスフィルター処理工程と、前記振動成分低減データをハイパスフィルター処理してドリフトノイズ低減データを生成するハイパスフィルター処理工程と、前記ドリフトノイズ低減データに基づいて、前記振動成分低減データからドリフトノイズを除いたデータと前記ドリフトノイズ低減データとの差に相当する補正データを推定する補正データ推定工程と、前記対象データから前記振動成分低減データを減算して振動成分データを生成する振動成分データ生成工程と、前記ドリフトノイズ低減データと前記補正データと前記振動成分データとを加算して計測データを生成する計測データ生成工程と、を含む、計測方法。【選択図】図３１