MULTIPOLE UNIT AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

To provide a multipole unit capable of achieving both high positional accuracy and ease of assembly, and capable of suppressing a decrease in magnetic flux transmissibility.SOLUTION: A multipole unit (109a) includes a pole piece 1 made of a soft magnetic metal material, a shaft 2 made of a soft magnetic metal material and magnetically connected to the pole piece 1, and a coil 3 wrapped around the shaft 2. The pole piece 1 includes a first fitting portion JP1 forming a first concave portion or a first convex portion. The shaft 2 includes a second fitting portion JP2 forming a second concave portion or a second convex portion. The first fitting portion JP1 and the second fitting portion JP2 are fitted together such that the pole piece 1 and the shaft 2 are physically separated.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】高い位置精度および組み立ての容易性の両立を図れ、磁束の伝達率の低下を抑制できる多極子ユニットを提供する。【解決手段】多極子ユニット（１０９ａ）は、軟磁性金属材からなる極子１と、軟磁性金属材からなり、且つ、極子１に磁気的に接続されたシャフト２と、シャフト２に巻き付けられたコイル３とを備える。極子１は、第１凹部または第１凸部を成す第１嵌合部ＪＰ１を有する。シャフト２は、第２凸部または第２凹部を成す第２嵌合部ＪＰ２を有する。第１嵌合部ＪＰ１および第２嵌合部ＪＰ２は、極子１およびシャフト２が物理的に離間するように、互いに嵌め合わされている。【選択図】図２