SETTER

To provide a ceramic rectangular setter capable of improving thermal shock resistance by providing through holes and a slit.SOLUTION: A setter 1 comprises: a ceramic planar setter body 1A having a rectangular mounting face; circular plural through holes 2 penetrating the setter body in a thickness direction and having openings at the mounting face and the back face of the setter body; and a slit 3 extended from the through holes 2b, 2c, 2d, 2e closest to an outer edge part 1B of the mounting face 1a toward the outer edge part, communicating the outer edge part and the through holes, and having an opening at the outer edge part.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】貫通孔とスリットを設けることによって、耐熱衝撃性を向上させることのできるセラミックス製の矩形のセッターを提供する。【解決手段】本発明にかかるセッター１は、矩形の載置面を有する、セラミックス製の板状のセッター本体１Ａと、前記セッター本体を厚さ方向に貫通し、前記載置面と前記セッター本体の裏面に開口を有する円形の複数の貫通孔２と、前記載置面１ａの外縁部１Ｂに最も近い貫通孔２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅから前記外縁部に向けて延設され、前記外縁部と貫通孔とを連通し、外縁部に開口を有するスリット３と、を備える。【選択図】図１