STAMP TOOL POSITIONING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF ELEMENT ARRAY

To provide a stamp tool positioning device that facilitates positioning of a stamp tool with respect to a transfer head, and a manufacturing method an element array using the stamp tool positioning device.SOLUTION: A device includes an installation stage 82 in which a stamp tool 10 is detachably installed, a transport head 22 capable of picking up the stamp tool 10 installed on the installation stage 82, a chuck mechanism 26 that positions and adjusts the relative position of the stamp tool 10 with respect to the transport head 22 along an X axis, and a second axis position member 90 that positions and adjusts the relative position of the stamp tool 10 with respect to the installation stage 82 along a Y axis.SELECTED DRAWING: Figure 6C 【課題】搬送ヘッドに対してのスタンプツールの位置合わせが容易なスタンプツール位置決め装置と、それを用いた素子アレイの製造方法とを提供することである。【解決手段】この装置は、スタンプツール１０が着脱自在に設置される設置ステージ８２と、設置ステージ８２に設置されたスタンプツール１０をピックアップすることが可能な搬送ヘッド２２と、Ｘ軸に沿って搬送ヘッド２２に対してのスタンプツール１０の相対位置を位置決めして調節するチャック機構２６と、Ｙ軸に沿って設置ステージ８２に対してのスタンプツール１０の相対位置を位置決めして調節する第２軸位置部材９０と、を有する。【選択図】図６Ｃ