MULTI-ELEMENT TRANSFER DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF ELEMENT ARRAY

To provide a multi-element transfer device for efficiently transferring an element to be transferred such as an element by using a stamp tool, and a manufacturing method of an element array using the multi-element transfer device.SOLUTION: A device includes a stamp table 100 to which an installation stage 82 on which a stamp tool 10 is detachably installed is fixed, a transport head 22 capable of picking up the stamp tool 10 installed on the installation stage 82, a first table 102 to which a first substrate 50 on which an element 32r is arranged is detachably fixed, and a second table 104 to which a second substrate 70 having a surface on which the element 32r arranged on the first substrate 50 is transferred and replaced by the stamp tool 10 is detachably fixed.SELECTED DRAWING: Figure 10 【課題】スタンプツールを用いて効率的に素子などの搬送対象要素を移送するためのマルチ要素移送装置と、それを用いた素子アレイの製造方法とを提供することである。【解決手段】この装置は、スタンプツール１０が着脱自在に設置される設置ステージ８２が固定してあるスタンプ用テーブル１００と、設置ステージ８２に設置されたスタンプツール１０をピックアップすることが可能な搬送ヘッド２２と、素子３２ｒが表面に配置される第１基板５０が着脱自在に固定される第１テーブル１０２と、第１基板５０に配置してある素子３２ｒがスタンプツール１０により搬送されて移し替えられる表面を持つ第２基板７０が着脱自在に固定される第２テーブル１０４と、を有する。【選択図】図１０