PLASMA APPARATUS

To provide a plasma apparatus in which, even when a distance from a plasma generation unit to an object present in an irradiation unit is long, a decrease in the amount of active species reaching the object is small.SOLUTION: A plasma apparatus comprises a plasma generation unit 1 and an irradiation unit 2. The plasma generation unit 1 includes a plasma excitation unit 90 that generates plasma and a plasma sending unit 91 that sends out the generated plasma. An object 20 is disposed in the irradiation unit 2 that is located at a position away from the plasma sending unit 91, and a magnetic field of an electromagnetic device 40 that is a magnetic field generation unit is applied to an action boundary surface 23 between the object 20 and plasma 99.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】プラズマ生成部から照射部にある対象物までの距離が長くなっても、対象物に到達する活性種の量の減少が少ないプラズマ装置を提供する。【解決手段】プラズマ生成部１と、照射部２とからなるプラズマ装置であって、プラズマ生成部１は、プラズマを生成するプラズマ励起部９０と、生成したプラズマを送出するプラズマ送出部９１からなり、プラズマ送出部９１から離れた位置にある照射部２に対象物２０を配置し、対象物２０とプラズマ９９の作用境界面２３に磁場発生部である電磁石装置４０の磁場を与える。【選択図】図１