SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

To provide a substrate processing system that can perform casing on an exhaust pipe to prevent exhaust gas from leaking to the outside.SOLUTION: A substrate processing system that prevents exhaust gas exhausted through an exhaust pipe from leaking to the outside includes a process tube that provides a processing space for a substrate, and an exhaust module that is connected to an exhaust port of the process tube and exhausts a process residue in the processing space to the outside, and the exhaust module includes an exhaust pipe connected to the exhaust port, an airtight case that houses at least a part of the exhaust pipe, and a local exhaust unit that is arranged in the airtight case and exhausts the inside of the airtight case.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 排気管をケーシングして排ガスの外部への漏れを防ぐことのできる基板処理システムを提供すること。【解決手段】 本発明は、排気管を介して排気される排ガスの外部への漏れを防ぐ基板処理システムであり、基板に対する処理空間を与える工程チューブと、前記工程チューブの排気ポートに接続されて、前記処理空間内の工程残渣を外部に排気する排気モジュールと、を備え、前記排気モジュールは、前記排気ポートに接続される排気管と、前記排気管の少なくとも一部を収める気密ケースと、前記気密ケースに配設され、前記気密ケースの内部を排気する局所排気部と、を備えていてもよい。【選択図】 図１