CHUCK UNIT AND TEMPERATURE CONTROL METHOD FOR CHUCK UNIT

To make it possible to set temperature from a freezing point to high temperature, and to reduce deterioration in a Peltier module.SOLUTION: A chuck unit includes: a chuck 10 for mounting a semiconductor 1; a heater heating unit 11 for heating a rear surface of the chuck 10 by a heater 12; a metal block 21 for cooling the heater heating unit 11 by contact to perform air cooling or water cooling; and a Peltier module 31 for heating and cooling the metal block 21. When the metal block 21 and the Peltier module 31 are separated from each other, the heater 12 is energized, and when the metal block 21 and the Peltier module 31 are in contact with each other, energization of the heater 12 is interrupted.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】氷点下から高温まで温度設定可能であり、ペルチェモジュールの劣化を少なくすることができる。【解決手段】半導体１を載置するチャック１０と、チャック１０の裏面をヒータ１２で加熱するヒータ加熱部１１と、接触によりヒータ加熱部１１を冷却し、空冷又は水冷が行われる金属ブロック２１と、金属ブロック２１を加熱冷却するペルチェモジュール３１とを備え、金属ブロック２１とペルチェモジュール３１とが離間しているときに、ヒータ１２が通電し、金属ブロック２１とペルチェモジュール３１とが接触しているときに、ヒータ１２の通電が遮断する。【選択図】図１