INSPECTION DEVICE

To provide an inspection device with which a load of image processing is lightened.SOLUTION: The inspection device comprises: a both-side telecentric optical system; an imaging element by which an optical image of a sample is formed by the optical system; a first mirror for reflecting a plurality of light beams emitted from the sample diagonally to an optical axis and having a plurality of reflection surfaces inwardly arranged around the optical axis of the optical system; and a second mirror for reflecting the light beams and guiding diagonally to the imaging element and having a plurality of reflection surfaces arranged inwardly around the optical axis. The reflection surfaces of the first and second mirrors are arranged based on a correlative arrangement relation that a main beam emitted from an inspection object surface of the sample and a main beam entering the imaging element are symmetrical.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】画像処理の負荷が軽減された検査装置を提供することである。【解決手段】検査装置は、両側テレセントリックな光学系と、光学系によって試料の光学像が形成される撮像素子と、光学系の光軸の周囲に内向きに配置された複数の反射面を有し、光軸に対して斜めに試料から発せられる複数の光ビームを反射する第１のミラーと、光軸の周囲に内向きに配置された複数の反射面を有し、光ビームを反射して光軸に対して斜めに撮像素子に導く第２のミラーとを備える。第１のミラーの反射面と第２のミラーの反射面は、試料の検査対象面から発せられる主光線と撮像素子に入射する主光線とが対称的である相関的な配置関係で配置されている。【選択図】図２