INFORMATION PROCESSING DEVICE, LEARNING DEVICE, INFORMATION PROCESSING SYSTEM, INFORMATION PROCESSING METHOD, PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM

To reduce man-hours for the validation of sample analysis.SOLUTION: A control device 20 of the present invention includes: a calculation unit 51 for calculating Talbot orientation information 43 based on a Talbot image 42 of a sample; a structural analysis unit 52 for performing structural analysis of a sample based on the calculated Talbot orientation information 43; and an output unit 28 for outputting a result of the structural analysis. The control device 20 further includes a learning device 53 for performing a part of structural analysis processing by machine learning. The learning device 53 includes: a first learning unit 53a learned in association with sample manufacturing information 41 and the Talbot image 42; and a second learning unit 53b learned in association with the sample manufacturing information 41 and the Talbot orientation information 43.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】サンプルの解析のバリデーション工数を削減する。【解決手段】本発明の制御装置２０は、サンプルのタルボ画像４２に基づいてタルボ配向情報４３を算出する算出部５１と、算出したタルボ配向情報４３に基づいてサンプルの構造解析をする構造解析部５２と、構造解析の結果を出力する出力部２８とを備えている。また、制御装置２０は、構造解析の処理の一部を機械学習で行うための学習装置５３を備えている。学習装置５３は、サンプル製造情報４１およびタルボ画像４２を関連付けた学習された第１学習部５３ａと、サンプル製造情報４１およびタルボ配向情報４３を関連付けた学習された第２学習部５３ｂとを備えている。【選択図】図１