SURFACE INSPECTION SYSTEM

To provide a new surface inspection system that is inexpensive.SOLUTION: Provided is a surface inspection system comprising: an image sensor and an image processing device 3. The image sensor images the surface of an inspection object and includes a transmission unit for transmitting a pixel value 2111 to the image processing device 3. The image processing device 3 includes an integrated pixel generation unit 4 for integrating a plurality of adjacent pixels 211 to generate one integrated pixel 41 in accordance with the size and shape of an assumed defect 95 having been assumed in advance, an allocation unit 5 for calculating one representative value 511 from the pixel values 2111 of a plurality of pixels included in the integrated pixel 41 on the basis of the pixel value 2111 sent from the image sensor and allocating as an integrated pixel value 52, an integrated image reconstruction unit 6 for reconstructing an integrated secondary image 61 from the integrated pixel value 52, and an assessment unit 7 for assessing the size and shape of the defect on the basis of the integrated secondary image 61 and the integrated pixel value 52.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】コストのかからない新たな表面検査システムを提供する。【解決手段】イメージセンサと画像処理装置３を備え、イメージセンサは、被検査物の表面を撮像し、画素値２１１１を画像処理装置３に送る送信部を有し、画像処理装置３は、あらかじめ想定した想定欠陥９５の大きさおよび形状に合わせて、隣接する複数の画素２１１を統合して１つの統合画素４１を生成する統合画素生成部４と、イメージセンサから送られた画素値２１１１に基づき、統合画素４１に含まれる複数の画素の画素値２１１１から１つの代表値５１１を算出し、統合画素値５２として割り当てる割当部５と、統合画素値５２から統合２次元画像６１を再構成する統合画像再構成部６、統合２次元画像６１および統合画素値５２に基づき、欠陥の大きさおよび形状を判別する判別部７を有することを特徴とする表面検査システム。【選択図】図２