DEFECT INSPECTION DEVICE

To provide a defect inspection device that can improve the accuracy of inspecting a defect in an inspection object.SOLUTION: A defect inspection device comprises: an ultrasonic probe; an image acquisition unit; a calculation unit; and a correction unit. The ultrasonic probe irradiates an inspection object or a simulated inspection object with an ultrasonic wave to acquire an ultrasonic image of the inspection object or the simulated inspection object. The image acquisition unit irradiates a first area of the simulated inspection object or a second area of the inspection object with an infrared ray to acquire an infrared image including the first area or the second area. The calculation unit calculates a first correction value for correcting the displacement of the coordinates of the first area in the ultrasonic image and the infrared image with respect to the design coordinates of the first area, or calculates a second correction value for correcting the displacement of the coordinates of the second area in the infrared image with respect to the design coordinates of the second area. The correction unit performs coordinate correction with the first correction value or the second correction value calculated for the ultrasonic image of the inspection object.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】検査対象物の欠陥の検査精度を向上させることができる欠陥検査装置を提供する。【解決手段】欠陥検査装置は、超音波探傷子と、画像取得部と、算出部と、補正部とを備える。超音波探傷子は、検査対象物／模擬検査対象物に向けて超音波を照射することで検査対象物／模擬検査対象物の超音波画像を取得する。画像取得部は、模擬検査対象物の第１領域または検査対象物の第２領域に向けて赤外線を照射することで第１／第２領域を含む赤外線画像を取得する。算出部は、第１領域の設計座標に対する超音波画像中および赤外線画像中の第１領域の座標のズレを補正する第１補正値を算出し、または、第２領域の設計座標に対する赤外線画像中の第２領域の座標のズレを補正する第２補正値を算出する。補正部は、検査対象物の超音波画像に対して算出された第１補正値／第２補正値による座標補正を行う。【選択図】図１