COLLET ADJUSTMENT DEVICE, BONDING DEVICE, AND COLLET ADJUSTMENT METHOD
To detect the position distribution of a collet in a surface to be detected.SOLUTION: A collet detection device 30 that detects the position or state of a collet 22 that sucks and picks up a chip 21 includes a light reflection type detection mechanism 31, and an arm 32, and the arm 32 moves one of t...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; jpn |
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| Zusammenfassung: | To detect the position distribution of a collet in a surface to be detected.SOLUTION: A collet detection device 30 that detects the position or state of a collet 22 that sucks and picks up a chip 21 includes a light reflection type detection mechanism 31, and an arm 32, and the arm 32 moves one of the detection mechanism 31 or the collet 22 relative to the other in a direction orthogonal to the contact/separation direction between the detection mechanism 31 and the collet 22, such that the detection mechanism 31 performs the detection three-dimensionally.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】本発明では、コレットの被検出面内の位置分布を検出することを課題とする。【解決手段】チップ２１を吸着してピックアップするコレット２２の位置または状態を検出するコレット検出装置３０であって、光反射型の検出機構３１と、アーム３２とを備え、アーム３２が、検出機構３１あるいはコレット２２の一方を、他方に対して、検出機構３１とコレット２２との接離方向と直交する方向へ相対移動させることで、検出機構３１が３次元的な検出を行うことを特徴とする。【選択図】図３ |
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