TEMPERATURE ADJUSTMENT DEVICE AND TEMPERATURE ADJUSTMENT METHOD

To highly accurately adjust the temperature of a liquid over a wide temperature range.SOLUTION: A temperature adjustment device includes: a first temperature adjustment unit that adjusts a temperature of a liquid; and a second temperature adjustment unit that adjusts a temperature of the liquid supplied from the first temperature adjustment unit. The first temperature adjustment unit includes: a first channel module that has a first channel for the liquid; and a base module that adjusts the temperature of the liquid in the first channel. The second temperature adjustment unit includes: a second channel module that has a second channel into which the liquid from the first channel flows; and a Peltier module that adjusts the temperature of the liquid in the second channel. The base module adjusts a temperature of the Peltier module.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】広い温度範囲に亘って液体の温度を高精度に調整すること。【解決手段】温調装置は、液体の温度を調整する第１温調部と、第１温調部から供給された液体の温度を調整する第２温調部と、を備える。第１温調部は、液体の第１流路を有する第１流路モジュールと、第１流路の液体の温度を調整するベースモジュールと、を有する。第２温調部は、第１流路からの液体が流入する第２流路を有する第２流路モジュールと、第２流路の液体の温度を調整するペルチェモジュールと、を有する。ベースモジュールは、ペルチェモジュールの温度を調整する。【選択図】図２