INFORMATION PROCESSING DEVICE, PROGRAM, AND MONITORING METHOD

To provide a technique of detecting an abnormality sign of a semiconductor manufacturing apparatus.SOLUTION: An information processing device that detects the abnormality sign of a semiconductor manufacturing apparatus includes a sensor data acquisition unit that acquires sensor waveform data whose axes are a sensor value and time measured by the semiconductor manufacturing apparatus that executes a process in accordance with the same recipe, a monitoring band calculation unit that calculates each monitoring band for the axis of the sensor value and the axis of the time used for a waveform monitoring method on the basis of predetermined number or more pieces of sensor waveform data, and an abnormality sign detection unit that detects the abnormality sign of the semiconductor manufacturing apparatus by monitoring the waveform of the sensor waveform data with the monitoring band for each of the axis of the sensor value and the axis of the time.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】本開示は、半導体製造装置の異常予兆を検知する技術を提供する。【解決手段】半導体製造装置の異常予兆を検知する情報処理装置であって、同一のレシピに従ってプロセスを実行中の半導体製造装置で測定された、センサ値及び時間を軸としたセンサ波形データを取得するセンサデータ取得部と、波形監視手法に用いるセンサ値の軸及び時間の軸に対するそれぞれの監視用バンドを、所定数以上のセンサ波形データから算出する監視用バンド算出部と、センサ値の軸及び時間の軸に対するそれぞれの監視用バンドを用いたセンサ波形データの波形監視を行い、半導体製造装置の異常予兆を検知する異常予兆検知部と、を有することで上記課題を解決する。【選択図】図３