LIGHT RECEIVING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING FOR THE SAME, AND DISTANCE MEASUREMENT DEVICE

To improve distance measurement accuracy by maintaining a balance of a transfer capability of each transfer transistor.SOLUTION: A light receiving device includes a pixel in a vicinity region of a second surface at a side opposite to a first surface which is a light incidence surface of the substrat...

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Hauptverfasser: WATANABE RYUTA, OTAKE YUSUKE, ISOYA YUJI
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To improve distance measurement accuracy by maintaining a balance of a transfer capability of each transfer transistor.SOLUTION: A light receiving device includes a pixel in a vicinity region of a second surface at a side opposite to a first surface which is a light incidence surface of the substrate. The pixel includes an embedded photodiode which has a charge storage layer of second conductivity type different from a first conductivity type of a photoelectric conversion region, at least two transfer transistors configured to transfer a charge stored in the photodiode, and at least one discharge transistor configured to discharge the charge stored in the photodiode. The second conductivity-type charge storage layer is disposed in a planar view to be surrounded by a gate and a sidewall of the transfer transistor, or the gate and the sidewall of the transfer transistor and a gate and a sidewall of the discharge transistor. The present technology can be applied to a distance measurement module and the like for measuring a distance to an object, for example.SELECTED DRAWING: Figure 6 【課題】各転送トランジスタの転送能力のバランスを保つことで、測距精度を向上させることができるようにする。【解決手段】受光装置は、基板の光入射面である第1面と反対側の第2面の近傍領域に、光電変換領域の第1導電型と異なる第2導電型の電荷蓄積層を有する埋め込み型のフォトダイオードと、フォトダイオードに蓄積された電荷を転送する少なくとも2つの転送トランジスタと、フォトダイオードに蓄積された電荷を排出する少なくとも1つの排出トランジスタとを有する画素を備え、第2導電型の電荷蓄積層は、平面視において、転送トランジスタのゲートおよびサイドウォール、または、転送トランジスタおよび排出トランジスタのゲートおよびサイドウォールで囲まれて配置されている。本技術は、例えば、被写体までの距離を測定する測距モジュール等に適用できる。【選択図】図6