STAGE DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

To provide a stage device capable of reducing the positioning error of a stage by reducing the measurement error of stage position while suppressing bending deformation of the mirror, and a charged particle beam device including the stage device.SOLUTION: Disclosed stage device includes: a table 105 for placing a sample 106; a bar mirror 111 installed on the table 105; a laser interferometer 104 that measures the position of the table 105 by irradiating the bar mirror 111 with a laser beam and receiving reflected light from the bar mirror 111; a drive mechanism 103 for moving the table 105; and multiple elastic members 203 installed between the bar mirror 111 and the table 105.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】ミラーの曲げ変形を抑制でき、ステージの位置の測定誤差を低減してステージの位置決め誤差を低減できるステージ装置と、このステージ装置を備える荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】本発明によるステージ装置は、試料１０６を載置するテーブル１０５と、テーブル１０５に設置されたバーミラー１１１と、バーミラー１１１にレーザ光を照射してバーミラー１１１からの反射光を受光することによって、テーブル１０５の位置を測定するレーザ干渉計１０４と、テーブル１０５を移動させる駆動機構１０３と、バーミラー１１１とテーブル１０５の間に設置された複数の弾性部材２０３を備える。【選択図】図３