INSPECTION SYSTEM, AND FAILURE ANALYSIS/PREDICTION METHOD FOR INSPECTION SYSTEM

To provide technique that even when a failure caused by a factor across a tester and a prober or a sign in a stage prior to the failure occurs, enables a location where the failure or the sign thereof occurs, to be quickly recognized or predicted.SOLUTION: An inspection system includes: a transportation unit; a prober; a tester inspecting electric characteristics of devices; and a failure analysis/prediction processing unit that when a failure occurs or a sign in a stage prior to the failure occurs at the time of inspection, analyzes history information on the prober and the tester with respect to the failure to identify, estimate, or predict a location of the failure. The plurality of devices are formed on a substrate. On a map displaying the plurality of devices on the substrate, output results with respect to PASS items at the time of the inspection is classified into a plurality of stages. A failure location is predicted from a distribution map of levels of the device which is determined as PASS.SELECTED DRAWING: Figure 7 【課題】テスタおよびプローバにまたがる要因の故障またはその前段階の兆候が生じた場合でもその箇所を迅速に把握することまたは予知することができる技術を提供する。【解決手段】検査システムは、搬送部と、プローバと、デバイスの電気特性を検査するテスタと、検査の際に故障が発生したとき、または故障の前段階の兆候が発生したときに、その故障に関連するプローバとテスタの履歴情報を解析して故障の箇所を特定もしくは推定または予知する故障解析・予知処理部とを有し、デバイスは基板上に複数形成されたものであり、基板上の複数のデバイスを表示するマップにおいて、検査の際にＰＡＳＳになった項目について出力結果を複数段階にレベル分けし、ＰＡＳＳと判断されたデバイスのレベルの分布図から故障箇所を予知する。【選択図】図７