HIGH ELECTRON MOBILITY TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME

To provide a high electron mobility transistor and a manufacturing method for the same.SOLUTION: A high electron mobility transistor includes a gate electrode provided on a depletion forming layer. The gate electrode includes a first gate electrode provided so as to form ohmic contact with the deple...

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Hauptverfasser: KIM JONGSEOB, OH JAE-JOON
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide a high electron mobility transistor and a manufacturing method for the same.SOLUTION: A high electron mobility transistor includes a gate electrode provided on a depletion forming layer. The gate electrode includes a first gate electrode provided so as to form ohmic contact with the depletion forming layer, and a second gate electrode provided so as to form Schottky contact with the depletion forming layer.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】高電子移動度トランジスタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】空乏形成層上に設けられるゲート電極を含み、ゲート電極は、空乏形成層とオーミックコンタクトを形成するように設けられる第1ゲート電極と、空乏形成層とショットキーコンタクトを形成するように設けられる第2ゲート電極と、を含む高電子移動度トランジスタである。【選択図】図1