TURBOMOLECULAR PUMP AND STATOR OF TURBOMOLECULAR PUMP

To provide a turbomolecular pump capable of suppressing deterioration in an exhaust performance due to backflow of gas molecules.SOLUTION: A turbomolecular pump comprises: multi-stage rotor blades in which a plurality of blades is formed, and which are provided in a pump axial direction; and multi-stage stator blades 30 which are alternately arranged in the pump axial direction with respect to the multi-stage rotor blades, and provided with a plurality of blades 301. The stator blade 30 of each stage is composed of a plurality of divided stator blades 30a and 30b. In an opposite part of the plurality of divided stator blades 30a, 30b, a gap 305 is formed. The stator blades 30 of the respective stages adjacent to each other in the pump axial direction are out of a phase with each other in a circumferential direction of the gap 305.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】気体分子逆流による排気性能低下を抑制することができるターボ分子ポンプの提供。【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数のブレードが形成され、ポンプ軸方向に設けられた複数段のロータ翼と、複数段のロータ翼に対してポンプ軸方向に交互に配置され、複数のブレード３０１が設けられた複数段のステータ翼３０と、を備え、各段のステータ翼３０は、複数の分割ステータ翼３０ａ，３０ｂから構成され、複数の分割ステータ翼３０ａ，３０ｂの対向部には隙間３０５が形成されており、ポンプ軸方向に隣接する各段のステータ翼３０は、隙間３０５の周方向位相が互いにずれている。【選択図】図３